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    「空間離子棒」維護空間靜電平衡,降低空間顆粒污染

    時間:2021.09.13作者:

    AP-DB1223空間離子棒是根據國內半導體電子等生產制造業潔凈空間除塵除靜電的需求,給您打造一個安全標準無塵無靜電潔凈環境。


    適用于電子工業(半導體、集成電路等)、光磁產品工業(光盤、膠片、磁帶生產)、LCD(液晶玻璃)等多行業。



      

    無塵室靜電產生的原因

    在高科技電子產品生產廠,控制靜電是提高生產效率,改善品質,增加利潤的基礎。在半導體、硬盤和平面顯示(FPDs)的生產中,靜電控制是基本的生產條件之一。如果不能控制靜電就意味著產品要因靜電引力造成粒子污染和靜電放電而受到損傷。


    產品本身和工作環境都不可避免地會使用絕緣材料,許多絕緣材料就是產品本身的組成部分。

    例如,高科技產品制造中會使用含有氧化層的硅片,環氧樹脂封裝的半導體器件,器件引腳上的絕緣材料,環氧樹脂印刷線路板,FPDs 行業中的玻璃片。此外,特氟隆、石英以及許多塑料材料具有耐高溫、耐腐蝕以及與潔凈室兼容的特性,但它們都是絕緣材料。接地不能消除絕緣材料上的靜電荷,因此絕大多數情況下唯一的辦法就是使用空氣離子化進行靜電中和處理。


    空氣離子化


    “離子(Ion)”一詞來源于希臘語,原為動詞,是動作的意思,有旅行者的含義。作為術語使用最早是用于描述對不同的溶液通電的效果:此時分子將電離并向與自己相反的電極移動。瑞典學者S. A. Arrhenius 的理論認為移動的離子(ion)是帶電荷的原子,這一理論在電子被發現后得以證實。


    離子可以定義為失去電子或獲得電子的原子或分子。電子是電荷轉移的唯一載體。當一個原子或分子具有相同數量的電子和質子時,它的電荷是平衡的,或者說是中性的。如果失去一個電子,則該原子或分子帶上正電荷,成為正離子;得到電子則成為負離子。


    但是空氣離子或帶電荷的空氣分子卻不是這種情況??諝馐且环N混合氣體,由氮氣、氧氣、二氧化碳、水蒸氣以及其他一些微量氣體組成,其中一種或幾種都可以離子化。某些時候,雙原子結構的氣體分子,包括氮氣和氧氣可以獲得或失去電子,化合氣體如二氧化碳也能夠如此。無論何種情況,當空氣中一種或一種以上的氣體分子獲得或失去電子的時候,我們稱之為空氣離子化。與溶液離子不同的是空氣離子化需要一定的能量才可形成。


    通常情況下,未經過濾的空氣,空氣離子是以氣體分子團形式存在的,10個中性氣體分子包裹在一個帶電的分子周圍。帶電分子可能是氧分子、水分子或氮分子。在這里我們稱之為小空氣離子。小空氣離子會做相對運動,在遭遇相反電荷的離子或接地表面后,它們會失去電荷,又恢復為中性分子。在潔凈空氣中,小空氣離子的壽命在幾秒鐘到幾分鐘之間。


    在適當的條件下,這些離子會吸附在空氣中的微?;虼蟮姆肿訄F上,從而形成大的空氣離子。小空氣離子和大空氣離子的相對比例取決于空氣的潔凈程度??諝庵袛盗枯^多的懸浮微粒會消耗小空氣離子。然而,我們在靜電控制中所談的絕緣材料上的靜電荷中和主要靠的是小空氣離子。


    AP-DB1223空間離子棒的工作原理

    AP-DB1223空間離子棒使用直流高壓電源,采用特制硅基,通過正、負直流高壓交替作用于正、負耦合式電極針,產生電暈放電,將空氣分子電離,產生大量正、負極性的空氣離子,中和空間中存在的局部不平衡的靜電電荷,達到高效、可靠維護空間靜電平衡,減少空間內微粒附著現象,使污染微粒易于被空調凈化系統濾出,降低空間內的顆粒污染的目的。

     

    消電效果測試

    測試標準:ANSI/ESD.STM3.1,SJ/T 11446—2013

    測試儀器:Trek平板電荷測試儀

    測試電壓:±1000V → ±100V衰減

    測試環境:濕度50±5%;溫度23±3

    HEPA(FFU)氣流速度:0.35-0.5m/s;

    工作頻率:5Hz




    應用案例


    FPC生產過程中使用安平空間離子棒來控制操作區域靜電以及揚塵。


    半導體生產現場使用安平空間離子棒,控制FEB內部區域靜電以達到控制落塵跟隨循環系統排除FEB外部


    更多技術參數請電話咨詢

    021 6451 7928


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